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電阻率儀的基礎知識

發布時間: 2023-02-10  點擊次數: 570次
   電阻率儀是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、錯單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。測試儀主機由主機板、電源板、前面板、后背板、機箱組成。電壓表、電流表、電流調節電位器、恒流源開關及各種選擇開關均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關、四探針頭連接插座、數據處理器連接插座及保險管。機箱底座上安裝了主機板及電源板,相互間均通過接插件聯接。
 
  電阻率測試儀配有恒流源開關,在測量某些薄層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,更好地保護箔膜。儀器配置了“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配數據處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的百分比變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測量帶來很大方便。
 
  電阻率測試儀適用:電線電纜行業、導體及半導體材料行業,碳素、焦化、石化、粉末冶金、高等院校、科研部門對新材料之研究,是檢驗和分析材料樣品質量的一種重要的工具及有效方法。
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